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第335章 仿制光刻机 求推荐和收藏（第3页）

王曦现在可是江城集成电路公司的总经理，虽然现在赵小匠的团队对江城集成电路公司的控制力度很小，可是王曦天天都在处理这方面的事情对芯片这块是三个女生中最有发言权的。

“200纳米啊？”

赵小匠道。

“200纳米这不是咱们引进生产线的制程吗？”

王曦狐疑问。

“对啊，我可是已经打听过了咱们引进的5英寸生产线有的工厂可以做出120纳米的制程。

我是这样想的咱们第一步先仿制出200纳米的光刻机，再慢想办法升级。”

赵小匠解释道。

“这好像有点道理，能不能说的再详细点。”

王曦问。

“我是这样想的5英寸生产线最早是在上世纪80年代初就出现了，距今已经过去20来年了，国内在92年引进5英寸的芯片生产线，关于该生产线无论是资料还是实物，国内都有一定的研究，国外的资料很多也是公开的，现在无非就是制造技术上跟不上。”

赵小匠继续解释道。

“对，对，这事我有印象前几天刘明元教授还来找过我，他说第一条5英寸的生产线就落户在江城，江城的不少高校和科研机构都有相关的资料，还表示最近联系到不少的参与该生产线研究的专家，建议我们可以组织一个芯片生产线协会，把这些专家给集中起来。”

王曦道。

“王姐看来下了不少功夫啊，我也是这个意思，咱们引进5英寸的生产线就是建立在江城有5英寸生产线的底子上，所以刘明元教授的提议我是支持的，具体方案王姐你定一下就好。”

赵小匠道。

说起来江城也是国内集成电路公司发展的中心，90年代相继兴建了国内第一条5英寸，6英寸，8英寸的生产线，诞生了国内最知道的芯片公司夏虹，夏芯。

“匠哥，莫非你这次去计量院就是解决光刻机的问题？”

王曦反应了过来。

“对了，如果咱们要实现200纳米的光刻机生产，第一要克服33%法则，即光刻机的套刻精度要达到66纳米，这一点即便咱们之前开发超精密机床也不到达到，第二就是要实现套刻的精度还得提高光刻机掩膜台的高精度定位，所以最终的精度还得再提到套刻精度的13，也就实际的精度为13纳米，设备的精度与制程的精度相差整整15倍。

这次我从计量院搞到了精度在10纳米左右的超高精度的激光干涉仪设计方案，只要我们能将设计变为现实，这光刻机就指日可待了！”

赵小匠道。

“搞了半天，咱们又回到了开发仪器上。”

王曦道。

赵小匠点了点头。

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